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化学气相沉积(cav)法,又称热解法、干法或燃烧法。其原料一般为四、氧气(或空气)和氢气,高温下反应而成。反应式为:sicl4+ 2h2+ o2—>;sio2+4hcl。空气和氢气分别经过加压、分离、冷却脱水、硅胶干燥、除尘过滤后送入合成水解炉。将四原料送至精馏塔精馏后,在蒸发器中加热蒸发,江西一---------多少钱,并以干燥、过滤后的空气为载体,送至合成水解炉。
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---防护:可能接触其蒸气时,应该佩戴防毒---。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴自给式呼吸器。
眼睛防护:戴化学安全防护眼镜。
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